Influence of Biaxial Strain on Solid Phase Epitaxial Regrowth in Ion-Implanted Strained Si on Relaxed Si1-xGex and Strained Si1-xGex

Phen, M.; Romano, Lucia; Craciun, V.; Jones, K. S.; Rubin, L.

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Influence of Biaxial Strain on Solid Phase Epitaxial Regrowth in Ion-Implanted Strained Si on Relaxed Si1-xGex and Strained Si1-xGex / M. PHEN; ROMANO L; V. CRACIUN; K. S. JONES; L. RUBIN. - (2008), pp. P84-P84. ((Intervento presentato al convegno 17th International Conference on Ion Implantation Technology tenutosi a Monterey, California (USA) nel 08/06/2008.

Titolo:	Influence of Biaxial Strain on Solid Phase Epitaxial Regrowth in Ion-Implanted Strained Si on Relaxed Si1-xGex and Strained Si1-xGex
Autori interni:	M. PHEN ROMANO, LUCIA V. CRACIUN K. S. JONES L. RUBIN mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2008
Handle:	http://hdl.handle.net/20.500.11769/112632
Appare nelle tipologie:	4.2 Abstract in Atti di convegno

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http://hdl.handle.net/20.500.11769/112632

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