Influence of Biaxial Strain on Solid Phase Epitaxial Regrowth in Ion-Implanted Strained Si on Relaxed Si1-xGex and Strained Si1-xGex / M. PHEN; ROMANO L; V. CRACIUN; K. S. JONES; L. RUBIN. - (2008), pp. P84-P84. ((Intervento presentato al convegno 17th International Conference on Ion Implantation Technology tenutosi a Monterey, California (USA) nel 08/06/2008.
Titolo: | Influence of Biaxial Strain on Solid Phase Epitaxial Regrowth in Ion-Implanted Strained Si on Relaxed Si1-xGex and Strained Si1-xGex |
Autori interni: | |
Data di pubblicazione: | 2008 |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11769/112632 |
Appare nelle tipologie: | 4.2 Abstract in Atti di convegno |
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