Development of contactless resonant MEMS force sensors in SOI technology
ANDO', Bruno;BAGLIO, Salvatore;TRIGONA, CARLO;
2008-01-01
File in questo prodotto:
| File | Dimensione | Formato | |
|---|---|---|---|
|
24.pdf
solo gestori archivio
Tipologia:
Versione Editoriale (PDF)
Licenza:
Non specificato
Dimensione
376.36 kB
Formato
Adobe PDF
|
376.36 kB | Adobe PDF | Visualizza/Apri |
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
