The Early Oxynitridation Stages of Hydrogen-Terminated Single-Crystalline Silicon in N2O / A G. F. CEROFOLINI; M. CAMALLERI; CONDORELLI G; I. L. FRAGAL; C. GALATI; S. LORENTI; L. RENNA; O. VISCUSO. - In: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS. - ISSN 0272-9172. - 648:(2001), pp. P6.4.1-P6.4.6. ((Intervento presentato al convegno MRS, 2000 Fall Meeting tenutosi a Boston, Massachusetts, USA nel November 27 – December 1, 2000 [0.1557/PROC-648-P6.4].
Titolo: | The Early Oxynitridation Stages of Hydrogen-Terminated Single-Crystalline Silicon in N2O | |
Autori interni: | ||
Data di pubblicazione: | 2001 | |
Rivista: | ||
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11769/71617 | |
ISBN: | 978-1-55899-558-1 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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