The Early Oxynitridation Stages of Hydrogen-Terminated Single-Crystalline Silicon in N2O

Cerofolini, A. G. F.; Camalleri, M.; Condorelli, Guglielmo Guido; Fragal, I. L.; Galati, C.; Lorenti, S.; Renna, L.; Viscuso, O.

doi:0.1557/PROC-648-P6.4

The Early Oxynitridation Stages of Hydrogen-Terminated Single-Crystalline Silicon in N2O / A G. F. CEROFOLINI; M. CAMALLERI; CONDORELLI G; I. L. FRAGAL; C. GALATI; S. LORENTI; L. RENNA; O. VISCUSO. - In: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS. - ISSN 0272-9172. - 648(2001), pp. P6.4.1-P6.4.6. ((Intervento presentato al convegno MRS, 2000 Fall Meeting tenutosi a Boston, Massachusetts, USA nel November 27 – December 1, 2000.

Titolo:	The Early Oxynitridation Stages of Hydrogen-Terminated Single-Crystalline Silicon in N2O
Autori interni:	A. G. F. CEROFOLINI M. CAMALLERI CONDORELLI, Guglielmo Guido I. L. FRAGAL C. GALATI S. LORENTI L. RENNA O. VISCUSO mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2001
Rivista:	MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS
Handle:	http://hdl.handle.net/20.500.11769/71617
ISBN:	978-1-55899-558-1
Appare nelle tipologie:	4.1 Contributo in Atti di convegno

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