A BE-SOI MEMS for inertial measurement in geophysical applications / Ando', Bruno; Baglio, Salvatore; Marletta, V; Savalli, N; Trigona, Carlo; Carbone, D; Patane, D; Rapisarda, S; Zuccarello, L.. - 1(2010), pp. 1326-1330. ((Intervento presentato al convegno IEEE IMTC 2010 tenutosi a Hilton Austin, Austin, TX nel May 3-6 2010,.
Titolo: | A BE-SOI MEMS for inertial measurement in geophysical applications |
Autori interni: | |
Data di pubblicazione: | 2010 |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11769/74860 |
ISBN: | 978-1-4244-2832-8 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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