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Systematic Characterization of Plasma-Etched Trenches on 4H-SiC Wafers 1-gen-2021 Pirnaci, M. D.; Spitaleri, L.; Tenaglia, D.; Perricelli, F.; Fragala, M. E.; Bongiorno, C.; Gulino, A.
Fabrication of silicon carbide trenches by a inductively coupled plasma reactive ion etching process 1-gen-2022 Perricelli, Francesco; Fragala', Maria Elena; Gulino, Antonino
Nanostrutture Funzionali per Dispositivi Microelettronici 6-dic-2022 Perricelli, Francesco
Chemical and Morphological Modifications Induced by Argon Plasma Treatments on Fluorinated Polybenzoxazole Films 1-gen-2023 Perricelli, Francesco; Boscaglia, Massimo; Cantiano, Massimiliano; Spitaleri, Luca; Fragala, Maria Elena; Gulino, Antonino
Efficient photocatalytic oxidation of VOCs using ZnO@Au nanoparticles 1-gen-2023 Fiorenza, R.; Spitaleri, L.; Perricelli, F.; Nicotra, G.; Fragala, M. E.; Scire, Salvatore.; Gulino, A.
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