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Suppression of boron diffusion by fluorine implantation in preamorphized silicon 1-gen-2004 Impellizzeri, G; dos Santos, Jhr; Mirabella, Salvatore; Priolo, Francesco; Napolitani, E; Carnera, A. file da validare
Room temperature migration of boron in crystalline silicon 1-gen-2004 Napolitani, E; De Salvador, D; Storti, R; Carnera, A; Mirabella, Salvatore; Priolo, Francesco file da validare
Investigation of two-dimensional diffusion of the self-interstitials in crystalline silicon at 800 degrees C and at room temperature 1-gen-2004 Giannazzo, F; Mirabella, Salvatore; Priolo, Francesco; Goghero, D; Raineri, V. file da validare
Self-interstitial diffusion and clustering with impurities in crystalline silicon 1-gen-2004 Mirabella, Salvatore; De Salvador, D; Napolitani, E; Giannazzo, F; Impellizzeri, G; Bisognin, G; Terrasi, Antonio; Raineri, V; Berti, M; Carnera, A; Drigo, Av; Priolo, Francesco file da validare
Boron-interstitial clusters in cristalline silicon: stoichiometry and strain 1-gen-2004 Bisognin, G; DE SALVADOR, D; Napolitani, E; Aldegheri, L; Berti, M; Carnera, A; Drigo, A. V.; Mirabella, Salvatore; Bruno, Elena; Impellizzeri, G; Priolo, Francesco
Diffusion of ion beam injected self-interstitial defects in silicon layers grown by molecular beam epitaxy 1-gen-2004 De Salvador, D; Napolitani, E; Mirabella, Salvatore; Impellizzeri, G; Priolo, Francesco; Terrasi, Antonio; Bisognin, G; Berti, M; Drigo, Av; Carnera, A. file da validare
Simulation of scanning capacitance microscopy measurements on ultranarrow doping profiles in silicon 1-gen-2004 Giannazzo, F; Goghero, D; Raineri, V; Mirabella, Salvatore; Priolo, Francesco; Liotta, Sf; Rinaudo, S. file da validare
Two dimensional interstitial diffusion in mesoscopic structures 1-gen-2004 Giannazzo, F; Raineri, V; Mirabella, Salvatore; De Salvador, D; Napolitani, E; Priolo, Francesco file da validare
Formation And Dissolution of B clusters in ion implanted material 1-gen-2005 A. M., Piro; Romano, Lucia; Mirabella, Salvatore; Grimaldi, Maria Grazia file da validare
B implanted at room temperature in crystalline Si: defect configuration and thermal evolution detected by ion beam lattice location analyses and simulation 1-gen-2005 A. M., Piro; Romano, Lucia; Mirabella, Salvatore; Grimaldi, Maria Grazia; E., Rimini file da validare
Boron lattice location in room temperature ion implanted Si crystal 1-gen-2005 Piro, Am; Romano, Lucia; Mirabella, Salvatore; Grimaldi, Maria Grazia
Silicon interstitial injection during dry oxidation of SiGe/Si layers 1-gen-2005 Napolitani, E; Di Marino, M; De Salvador, D; Carnera, A; Spadafora, M; Mirabella, Salvatore; Terrasi, Antonio; Scalese, S. file da validare
B IMPLANTED AT ROOM TEMPERATURE IN CRYSTALLINE SI: B DEFECT FORMATION AND DISSOLUTION 1-gen-2005 Romano, L; Piro, A. M.; Grimaldi, M. G.; Mirabella, S file da validare
Dissolution kinetics of B clusters in crystalline Si 1-gen-2005 DE SALVADOR, D; Napolitani, E; Bisognin, G; Carnera, A; Bruno, Elena; Mirabella, Salvatore; Impellizzeri, G; Priolo, Francesco
Scanning capacitance microscopy two-dimensional carrier profiling for ultra-shallow junction characterization in deep submicron technology 1-gen-2005 Giannazzo, F; Raineri, V; Mirabella, Salvatore; Bruno, Elena; Impellizzeri, G; Priolo, Francesco
Fluorine segregation and incorporation during solid phase epitaxy of Si 1-gen-2005 Mirabella, Salvatore; G., Impellizzeri; Bruno, Elena; Romano, Lucia; Grimaldi, Maria Grazia; Priolo, Francesco; E., Napolitani; A., Carnera
Lattice location and thermal evolution of small B complexes in crystalline Si 1-gen-2005 Romano, Lucia; A. M., Piro; Mirabella, Salvatore; Grimaldi, Maria Grazia; E., Rimini
Submicron confinement effect on electrical activation of B implanted in Si 1-gen-2005 Bruno, Elena; Mirabella, Salvatore; Impellizzeri, G; Priolo, Francesco; Giannazzo, F; Raineri, V; Napolitani, E.
Room Temperature Boron Displacement in Crystalline Silicon induced by Proton Irradiation 1-gen-2005 A. M., Piro; Romano, Lucia; Mirabella, Salvatore; Grimaldi, Maria Grazia
B Activation Enhancement in Submicron Confined Implants in Si 1-gen-2005 Bruno, Elena; Mirabella, Salvatore; G., Impellizzeri; Priolo, Francesco; F., Giannazzo; V., Raineri; E., Napolitani
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