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EnglishOptimisation of epitaxial layers growth with HCl addition by optical and electrical characterization / Calcagno, L; Izzo, G; Litrico, G; Foti, G; LA VIA, F; Galvagno, G; Mauceri, M; Leone, S. - 556-557(2007), pp. 137-140. ((Intervento presentato al convegno 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials tenutosi a Newcastle upon Tyne, ENGLAND nel SEP, 2006.
| Titolo: | Optimisation of epitaxial layers growth with HCl addition by optical and electrical characterization |
| Autori interni: | |
| Data di pubblicazione: | 2007 |
| Serie: | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11769/5420 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/20.500.11769/5420
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