Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography

Cutroneo, M; Havranek, V; Mackova, A; Semian, V; Torrisi, L; Calcagno, Lucia

doi:10.1016/j.nimb.2015.10.006

CINECA IRIS Institutional Research Information System

IRIS è la soluzione IT che facilita la raccolta e la gestione dei dati relativi alle attività e ai prodotti della ricerca. Fornisce a ricercatori, amministratori e valutatori gli strumenti per monitorare i risultati della ricerca, aumentarne la visibilità e allocare in modo efficace le risorse disponibili.

Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography / Cutroneo M; Havranek V; Mackova A; Semian V; Torrisi L; Calcagno L. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 371(2016), pp. 344-349.

Titolo:	Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography
Autori interni:	Cutroneo M Havranek V Mackova A Semian V Torrisi L CALCAGNO, Lucia mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2016
Rivista:	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Citazione:	Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography / Cutroneo M; Havranek V; Mackova A; Semian V; Torrisi L; Calcagno L. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 371(2016), pp. 344-349.
Handle:	http://hdl.handle.net/20.500.11769/18792
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

File in questo prodotto:

Non ci sono file associati a questo prodotto.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento:
http://hdl.handle.net/20.500.11769/18792

Citazioni

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.