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EnglishRADIATION-ENHANCED DIFFUSION OF IMPLANTED IMPURITIES IN AMORPHOUS SI / PRIOLO F; POATE JM; JACOBSON DC; BATSTONE JL; CAMPISANO SU. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 39:1-4(1989), pp. 343-346.
| Titolo: | RADIATION-ENHANCED DIFFUSION OF IMPLANTED IMPURITIES IN AMORPHOUS SI |
| Autori interni: | |
| Data di pubblicazione: | 1989 |
| Rivista: | |
| Citazione: | RADIATION-ENHANCED DIFFUSION OF IMPLANTED IMPURITIES IN AMORPHOUS SI / PRIOLO F; POATE JM; JACOBSON DC; BATSTONE JL; CAMPISANO SU. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 39:1-4(1989), pp. 343-346. |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11769/3444 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/20.500.11769/3444
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