Effect of self-interstitials – nanovoids interaction on two-dimensional diffusion and activation of limplanted B in Si / Giannazzo, F; Bruno, Elena; Mirabella, Salvatore; Impellizzeri, G; Napolitani, E; Raineri, V; Priolo, Francesco; Alquier, D.. - In: DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID STATE DATA. PART B, SOLID STATE PHENOMENA. - ISSN 1012-0394. - 108-109(2005), pp. 395-399.
Titolo: | Effect of self-interstitials – nanovoids interaction on two-dimensional diffusion and activation of limplanted B in Si |
Autori interni: | |
Data di pubblicazione: | 2005 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11769/4307 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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